「Furon」シリーズの製品は、半導体・PFD製造装置に使用されるフッ素樹脂(PFA/PTFE)を中心とした製品です。
サンゴバンのポンプは、接液部にはフッ素樹脂を使用し、半導体・PFD製造装置や有機EL製造装置など、特殊な流体を使用する用途に適しています。それぞれのポンプは、薬液やケミカルガス、スラリー、超純水、レジスト、そして粘度、比重、酸・アルカリなど、その用途に応じて構造や素材を厳選し設計しております。
超低流量、大流量、加圧・昇圧用、モーター駆動、空圧駆動、パーティクルフリー、エラストマーフリー、Oリングフリーなど、特徴のあるポンプを取りそろえております。

 

新規採用の技術的なお問い合わせや、ポンプの修理・メンテナンスに関するお問い合わせは、機能樹脂事業部ライフサイエンス部門までご連絡ください。
お問い合わせの際は、製品型式、シリアル番号、ご購入時期、流体の種類、使用圧力・温度をお知らせください。

 

サンゴバン株式会社 機能樹脂事業部
ライフサイエンス(営業・カスタマーサービス)
TEL: 03-6256-9703 FAX: 03-6256-9709

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