Furon ベローズポンプ

製品詳細

スラリー・薬液用　ベローズポンプ

• 接液部は100％高純度フッ素樹脂を使用、接液部にはOリングもありません  
• コンタミフリー、低溶出
• 金属を100％排除し、軽量化を実現しました
• SYタイプ：スラリー用　・  CHタイプ：薬液用をラインナップ
• シャトルバルブ駆動により、動力は空圧のみ。　空気圧力で流量をコントロールします
• 流量範囲　1.5L/min　～　100L/min　から選択可能

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用途

• 半導体製造装置
• CMP
• 洗浄装置
• スラリー供給装
• 薬液供給装置
• 液晶製造装置
• 太陽光パネル製造装置

製品の歴史

Saint-Gobainの半導体製造装置向けの製品は、フューロン社（Furon） と アスティ社（Asti）を1999～2000年に買収したことに始まります。Furonはアメリカ・カリフォルニアを拠点に、Astiはフランスを拠点に半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化し、開発販売しておりました。Saint-Gobainは、Furon／Astiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

参考：ブランド・型式

フューロン（Furon）ポンプ  

スラリー用　A2SY1、A2SY2、A2SY3          
薬液用  　A2CH1、A2CH2、A2CH3    

フューロン（Furon）ダンパー

スラリー用　A2MS1、A2MS2、A2MS3 
薬液用  　A2MC1、A2MC2、A2MC3

アスティ（Asti）ポンプ    

スラリー用　PRS1 210F、PFS1 210F、PRS2 316F、PFS2 316F、PRS3 322F、PFS3 322F           
薬液用           PRD1 210F、PFD1 210F、PRD2 316F、PFD2 316F、PRD3 322F、PFD3 322F          

アスティ（Asti）ダンパー    

スラリー用　AMS1 210、AMS2 216、AMS3 322、AMS1 2F、AMS1 3F、AMS1 2T、AMS1 3T               
薬液用     AMC1 210、AMC2 216、AMC3 322、AMC1 2F、AMC1 3F、AMC1 2T、AMC1 3T