製品詳細

スラリー・薬液用　ベローズポンプ

●　接液部は100％高純度フッ素樹脂を使用、接液部にはOリングもありません　　
●　コンタミフリー、低溶出
●　金属を100％排除し、軽量化を実現しました
●　SYタイプ：スラリー用　・　 CHタイプ：薬液用をラインナップ
●　シャトルバルブ駆動により、動力は空圧のみ。　空気圧力で流量をコントロールします
●　流量範囲　1.5L/min　～　100L/min　から選択可能

用途

●　半導体製造装置
●　CMP
●　洗浄装置
●　スラリー供給装
●　薬液供給装置
●　液晶製造装置
●　太陽光パネル製造装置

製品紹介動画

製品の歴史

Saint-Gobainの半導体製造装置向けの製品は、フューロン社（Furon） と アスティ社（Asti）を1999～2000年に買収したことに始まります。
Furonはアメリカ・カリフォルニアを拠点に、Astiはフランスを拠点に半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化し、開発販売しておりました。
Saint-Gobainは、Furon／Astiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

参考：ブランド・型式
フューロン（Furon）製品：A2CH（薬液用ポンプ）、A2SY（スラリー用ポンプ）、A2MC（薬液用ダンパー）、A2MS（スラリー用ダンパー）
アスティ（Asti）製品：PFD・PRD（薬液用ポンプ）、PFS・PRS（スラリー用ポンプ）、AMC（薬液用ダンパー）、AMS（スラリー用ダンパー）

このページに関するお問い合わせ

サンゴバン株式会社 機能樹脂事業部
ライフサイエンス　カスタマーサービス
Tel: 0266-79-6410　Fax: 0266-70-1002
E-mail: ls-japan@saint-gobain.com

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