Furon ベローズポンプ

メタルフリー、Oリングフリーの100%高純度フッ素樹脂製ベローズポンプ。 スラリー用、薬液用をそれぞれ用意しています。

製品詳細

スラリー・薬液用 ベローズポンプ

● 接液部は100%高純度フッ素樹脂を使用、接液部にはOリングもありません  
 コンタミフリー、低溶出
● 金属を100%排除し、軽量化を実現しました
 SYタイプ:スラリー用 ・  CHタイプ:薬液用をラインナップ
 シャトルバルブ駆動により、動力は空圧のみ。 空気圧力で流量をコントロールします
 流量範囲 1.5L/min ~ 100L/min から選択可能

用途

 半導体製造装置
 CMP
 洗浄装置
 スラリー供給装
 薬液供給装置
● 液晶製造装置
● 太陽光パネル製造装置

 

 

製品紹介動画

 

 

 

 

 

製品の歴史

Saint-Gobainの半導体製造装置向けの製品は、フューロン社(Furon) と アスティ社(Asti)を1999~2000年に買収したことに始まります。
Furonはアメリカ・カリフォルニアを拠点に、Astiはフランスを拠点に半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化し、開発販売しておりました。
Saint-Gobainは、Furon/Astiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。

参考:ブランド・型式
フューロン(Furon)製品:A2CH(薬液用ポンプ)、A2SY(スラリー用ポンプ)、A2MC(薬液用ダンパー)、A2MS(スラリー用ダンパー)
アスティ(Asti)製品:PFD・PRD(薬液用ポンプ)、PFS・PRS(スラリー用ポンプ)、AMC(薬液用ダンパー)、AMS(スラリー用ダンパー)

 

 

このページに関するお問い合わせ

サンゴバン株式会社 機能樹脂事業部
ライフサイエンス カスタマーサービス

Tel: 0266-79-6410 Fax: 0266-70-1002
E-mail: ls-japan@saint-gobain.com

 

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