Furon 定量ポンプ
サンゴバンのFuron MDPシリーズは、半導体製造装置に使用される高純度フッ素樹脂を使用した、高純度、高クリーン度の空圧駆動型ディスペンスポンプです。接液部にはO-ringや金属を使用せず、100%高純度PFA／PTFEで構成されています。
CMP工程や、洗浄工程の特殊な液体・薬品を極微量に、そして定量的に供給するDose Pumpです。
吐出精度 +/-1%
再現性 +/-1%
フッ素樹脂とは、テフロン™に代表されるFluorine Resin・Fluorocarbon Polymersのことで、撥水性、疎水性、耐油性、耐薬品性、耐腐食性、絶縁性、滑り性、低摩耗性、非粘着性の素材です。サンゴバンのFuronシリーズバルブでは、接液部の材質を100％高純度PFA／PTFEで構成してあります。液体に接する面には、O-ringや金属を一切使用しておりません。
テフロン™（Teflon™）は、米国ケマーズ社の登録商標です。ケマーズ社は米国デュポン社より分社化し、その後独立した化学会社です。
製品詳細
MDP ドーズ (Dose) ポンプは、サンゴバンの独自技術、ローリングダイアフラムを使用しています。
空気圧力を調節することで、吐出量や吐出スピードを調節することができます。吸込・押出のタイミングは、お客様のシーケンサーから制御可能です。3/2空圧バルブを使用し、空気供給のON/OFFを制御ください。ポンプ上部の調節ノブから押出量を調節できます。
より高い粘度を押し出す場合は、サンゴバン株式会社（[email protected] ）にお問い合わせください。
MDP50
| 一回の吐出量（ワンショット） | 0-0.5mL |
| 吐出速度 | 0.5～3.0秒 |
| 速度調節可能範囲 | 0.16~0.5mL/sec |
| 吐出精度 | +/-1% |
| 吐出再現性 | +/-1% |
| 作動時空気圧 | 0.34～0.48MPa |
| 最大流体吐出圧力 | 0.03MPa |
| 周囲温度 | 0-50℃ |
| 流体温度 | 5-82℃ |
| 流体継手 | 1/4"フレア（Flare Grip II） |
| 空気供給接手 | 1/8"BSPT |
MDP1000
| 一回の吐出量（ワンショット） | 0-10mL |
| 吐出速度 | 1.0～3.0秒 |
| 速度調節可能範囲 | 3.3~10.0mL/sec |
| 吐出精度 | +/-1% |
| 吐出再現性 | +/-1% |
| 作動時空気圧 | 0.34～0.48MPa |
| 最大流体吐出圧力 | 0.38MPa |
| 周囲温度 | 0-50℃ |
| 流体温度 | 5-82℃ |
| 流体継手 | 1/4"フレア（Flare Grip II） |
| 空気供給接手 | 1/8"NPT |
特長
- サンゴバンのFuron®シリーズ 高純度フッ素樹脂ディスペンスポンプの接液部は、すべてOリングフリー、ノンメタルです。
- サンゴバンは、お客様のご要望に合わせたカスタム仕様バルブに対応しております。
- サンゴバンのMDPポンプは、半導体製造装置のCMP、洗浄工程のスラリー・薬品の微量吐出に多く採用されております。
企業概要
Saint-Gobain（サンゴバン）は、半導体業界の黎明期から発展期の1990年代にFuron（フューロン社）と Asti（アスティ社）をサンゴバングループに迎えました。Furonはアメリカ・カリフォルニア州を拠点に、Astiはフランスを拠点に、半導体製造装置のフッ素樹脂製品に特化した製品開発を行っていた革新的企業です。Saint-Gobain機能樹脂事業部（当時はNorton Performance Plastics）は、半導体製造装置向けのフッ素樹脂製品におけるグローバルリーディングカンパニーであり、FuronおよびAstiの事業を引き継ぎ、先端的な製品を開発しています。
製品紹介動画
