バルブ
「Furon」シリーズの製品は、半導体・PFD製造装置に使用されるフッ素樹脂（PFA/PTFE)を中心とした製品です。
サンゴバンは、フッ素樹脂やポリプロピレン、PVCなど、金属を使用しないバルブ製造を得意としております。バルブオリフィス1.5ｍｍ（1/16") から、50ｍｍ（２”）まで、多種多様なバルブを取りそろえております。
サンゴバン製バルブの特徴は低Cv値であること、そして素材の摩耗を避け、パーティクルの発生を極限まで抑えた構造であり、素材にこだわった生産を行っております。また、Oリングを使用しない構造や、高耐圧バルブ、低Cv値、複数機能を併せ持つ特殊バルブをお客様の環境に合わせ設計変更することも可能です。
お客様のご要望に応じて設計・生産するカスタムバルブや、スラリー、レジスト、ケミカルガス、酸・アルカリ性流体、超純水など用途に応じ柔軟な姿勢で設計・生産いたします。
新規採用の技術的なお問い合わせは、機能樹脂事業部ライフサイエンス部門までご連絡ください。
Furon® 標準バルブ
サンゴバンのFuron® フッ素樹脂バルブは、半導体製造装置に使用される高純度フッ素樹脂を使用した、高純度、高クリーン度、低圧損の空圧駆動型、手動型バルブです。接液部にはOリング・金属を使用せず、100%高純度PFA／PTFEで構成されています。
カスタム仕様バルブ、マニホールドバルブ
半導体製造装置・FPD製造装置用Furon® シリーズのマニホールドバルブおよび特殊仕様ベッセルです。サンゴバンのバルブ・ポンプ製造のノウハウを駆使し、お客様のご要望に合った製品をカスタム仕様で設計生産いたします。薬液タンクとバルブの組み合わせ、薬液スラリーの送液分配流量調節キットやプロセスラインからの薬液排出システムなどの複雑なシステムから、特殊機能のバルブ1品まで、柔軟な設計を得意としています。
詳細はサンゴバン株式会社まで、お気軽にお問い合わせください。
Furon® 付帯部品、アクセサリー
サンゴバンのFuron®シリーズでは、半導体製造装置、FPD製造装置用のバルブ・ポンプに加え、圧力調整弁、アスピレーター（薬液排出吸引器）、圧力計保護器、スタティックミキサー、圧力逃し弁、Flare接手、溶接接手を取り揃えております。
これらの製品は、半導体製造装置用に高純度フッ素樹脂、コンタミフリー、低溶出、Oリングなしで構成されています。
マーケットアプリケーション
