FinAl

"FinAl"

サンゴバンが開発した FinAl 9222 は、C面サファイアウェハの研磨に特化した高性能アルミナスラリーです。高純度原料の選定からαアルミナへの変換まで、すべての工程を厳密に管理。コロイダルシリカの4倍以上の除去率を誇りながら、目視で傷が確認できないほどの滑らかな仕上がり（Ra 3オングストローム以下）を実現します。
FinAl 9222 に使用されている新開発の研磨粒子は、非常に硬いナノ構造ネットワークを持ち、微細破砕によって常に新しい鋭利な切削エッジを形成。再循環モードで繰り返し使用可能で、適切な管理のもとでは10時間以上の連続研磨にも対応します。

メリット

• 高速な除去率と制御された表面仕上げ
• コロイダルシリカのような再結晶化がなく、洗浄が容易
• 再利用可能でスラリー寿命を最大化
• 商業規模で安定供給可能
• 粒度分布とオーバーサイズ粒子を厳密に管理
• ISO 認証による品質保証
• 技術サポート可能な専門エンジニアが常駐