窒化物用研磨スラリー

"ZSL300"

サンゴバンの ZSL300 シリーズは、酸化シリカおよび窒化シリカウェハの CMP（化学機械平坦化）に特化して設計された高精度スラリーです。独自開発のジルコニア粒子を採用し、他社製品と比較して優れた除去率を実現。加速剤化学との組み合わせにより、除去率の制御と平坦化性能を高めます。

ZSL300 は、TSV（シリコン貫通ビア）や銅・窒化膜の研磨用途に推奨されており、表面欠陥の低減と洗浄性に優れた添加剤を含有。スラリーの保存安定性も高く、コロイド・酸化・生物学的安定性により、取り扱いが容易です。

メリット

• TSV、銅、窒化膜用途に最適
• 社内設計の研磨粒子による高除去効率
• 粒度分布の厳密な管理
• 洗浄性とCoO（総所有コスト）を最適化する化学処方
• 優れた表面仕上げと欠陥抑制性能
• 技術サポート可能な専門エンジニアが常駐