銅用研磨スラリー

サンゴバンは、バルク銅 CMP および TSV（シリコン貫通ビア）用途に対応する高精度スラリーを提供しています。

"AmberCut ASL914"

AmberCut ASL914SA は、銅および金属酸化膜層向けに設計された CMP スラリーで、特許取得済みの多結晶アルミナ粒子を採用し、コロイダルシリカと比較して高い平坦化効率と除去率を実現します。pH や過酸化物濃度の調整により、トポグラフィー制御が可能で再現性も高く、腐食抑制剤や特殊潤滑剤により、優れた表面仕上げと洗浄性を提供します。

特長とメリット

• 高い平坦化効率と除去率
• pHと過酸化物濃度によるトポグラフィー制御
• 敏感な合金の腐食を防止
• 優れた表面仕上げと洗浄性
• コロイド・酸化・生物学的安定性に優れ、取り扱いが容易

"ZSL300"

ZSL300 シリーズは、酸化シリカおよび窒化シリカウェハ向けに設計されたCMPスラリーで、独自のジルコニア粒子と加速剤化学を組み合わせ、除去率と表面仕上げを大幅に向上させます。TSV や銅・窒化膜の研磨に推奨され、粒度分布の厳密な管理と優れた洗浄性を備えています。

メリット

• TSV および銅・窒化膜用途に最適
• 高除去効率を実現する独自研磨粒子
• 粒度分布の厳密な管理
• 洗浄性と CoO 最適化のための化学処方
• 技術サポート可能な専門エンジニアが常駐