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石英からサファイアへの切替によるコスト改善

石英からサファイアの切替によるコスト改善で、単結晶サファイア製大型ウィンドウを導入した事例です。

製品ジャンル
クリスタル製品
キーワード
ソリューション事例 サファイア

課題

プラズマドライエッチング装置の石英センサー窓がチャンバー内のフッ素系ガスやプラズマにより短時間で曇ってしまい、交換頻度が高く、窓のコストのみならず、交換作業によるダウンタイム増大が問題でした。

解決手段/導入効果

センサー窓をサファイアに交換することにより、曇りの発生がなくなり(数年以上継続使用可能)、初期導入時の製品コストアップを大幅に上回るコストメリット(交換品の購入不要、ダウンタイム縮小)を即時に実現できました。

この課題を解決した製品

  • 単結晶サファイア製大型ウィンドウ

サンゴバンのサファイア製 部品各種

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