石英からサファイアへの切替によるコスト改善

石英からサファイアの切替によるコスト改善で、単結晶サファイア製大型ウィンドウを導入した事例です。

サンゴバンのサファイア製 部品各種

課題

プラズマドライエッチング装置の石英センサー窓がチャンバー内のフッ素系ガスやプラズマにより短時間で曇ってしまい、交換頻度が高く、窓のコストのみならず、交換作業によるダウンタイム増大が問題でした。

 

解決手段/導入効果

センサー窓をサファイアに交換することにより、曇りの発生がなくなり(数年以上継続使用可能)、初期導入時の製品コストアップを大幅に上回るコストメリット(交換品の購入不要、ダウンタイム縮小)を即時に実現できました。

 

この課題を解決した製品

  • 単結晶サファイア製大型ウィンドウ

 

製品の詳しい情報はクリスタル事業部のウェブサイトでご覧ください