石英からサファイアの切替によるコスト改善で、単結晶サファイア製大型ウィンドウを導入した事例です。
課題
プラズマドライエッチング装置の石英センサー窓がチャンバー内のフッ素系ガスやプラズマにより短時間で曇ってしまい、交換頻度が高く、窓のコストのみならず、交換作業によるダウンタイム増大が問題でした。
解決手段/導入効果
センサー窓をサファイアに交換することにより、曇りの発生がなくなり(数年以上継続使用可能)、初期導入時の製品コストアップを大幅に上回るコストメリット(交換品の購入不要、ダウンタイム縮小)を即時に実現できました。
この課題を解決した製品
- 単結晶サファイア製大型ウィンドウ